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電子線リソグラフィ教本

横山 浩／監修 -- ヨコヤマ,ヒロシ -- オーム社 -- 2007.6 -- 549.7

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県図一般 書庫A5層 549.7/ｱ007 0114160336 一般図書 　 在架

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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
県図一般 1 0 1

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タイトル 電子線リソグラフィ教本
書名カナ デンシセン リソグラフィ キョウホン
著者 横山 浩 ／監修, 秋永 広幸 ／編  
著者カナ ヨコヤマ,ヒロシ
出版地 東京
出版者 オーム社
出版者カナ オームシャ
出版年 2007.6
ページ数 13,210p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 電子線
内容紹介 「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。
NDC分類(9版) 549.7
ISBN 4-274-20415-9
ISBN13桁 978-4-274-20415-9
定価 ¥3000

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